謝辞
本研究の検討を開始した時より本論文をまとめるまで、長期間にわたり終始親切なご指導とあたたかいご鞭撻をいただきました京都大学大学院工学研究科教授 石川順三博士に心より深く感謝いたします。
本研究を開始するきっかけを与えて下さり遂行にあたりあたたかいご鞭撻をいただいた株式会社島津製作所 元技術研究本部本部長 喜利元貞博士、研究遂行にあたりご指導ご鞭撻をいただきました株式会社島津製作所 研究開発担当専務取締役 田原康雄氏、株式会社島津製作所元けいはんな研究所所長 浅利正敏博士、株式会社島津製作所 基盤技術研究所所長 吉田多見男博士に心より感謝いたします。
本研究の光学系評価手法を確立する上でご指導とご検討をいただきました京都府立大学助教授 春山洋一博士に深く感謝いたします。
本研究の内容を高く評価していただき、あたたかいご鞭撻をいただきました大阪大学基礎工学部教授 蒲生健次博士に深く感謝いたします。
本研究の内容を高く評価していただき、微小試料への電極作成のきっかけを与えて下さいました北陸先端科学技術大学院大学教授 三谷洋興博士に深く感謝いたします。微小試料への電極作成に関してご指導とご協力いただきました分子科学研究所 浅香修治博士、加藤清則博士に心より感謝いたします。
磁気多層膜への応用に関し、ご指導とご協力をいただきました松下電器株式会社中央研究所 榊間博博士、里見三男氏に心より感謝いたします。
弾性表面波素子への応用に関し、ご指導とご協力をいただきましたローム株式会社ＶＬＳＩ研究開発部 高須秀視部長、波多俊弘氏、戸谷一幸氏に心より感謝いたします。
超微小試料への電極形成の可能性に関し、ご指導とご協力とあたたかいご鞭撻をいただきました日本電気株式会社基礎研究所 松井真二博士、落合幸徳博士に心より感謝いたします。
集束イオンビーム直接蒸着法の応用の探索に関し、東京大学生産技術研究所教授 二瓶好正博士、東北大学工学部教授 江刺正喜博士、広島大学工学部教授 廣瀬全孝博士、電子技術総合研究所 古室昌徳博士をはじめとする多数の方に貴重なお時間をいただき、ご指導ご鞭撻を賜りました。心より深く感謝いたします。
著者とともに低エネルギー集束イオンビーム装置の設計製作に従事し、集束イオンビーム直接蒸着法の確立に絶大な貢献のあった株式会社島津製作所 山蔭康弘氏、上田雅弘氏、丸野浩昌氏に深く感謝いたします。また、短期間とはいえ低エネルギー集束イオンビーム装置の設計製作に関わっていただきました株式会社島津製作所 杉本征治氏、堀川浩司氏、上田雅之氏、近藤泰志氏に感謝いたします。
超伝導薄膜の評価とＳＱＵＩＤへの応用に関しご協力いただきました株式会社島津製作所 品田恵氏、藤山陽一氏、務中達也氏、山田康晴氏に感謝いたします。
サンプルステージの設計製作をしていただきました株式会社島津製作所 生産技術研究所の皆様に感謝いたします。そのほか低エネルギー集束イオンビーム装置の製作にあたりご指導ご協力をいただきました、中央工作部ほか株式会社島津製作所の多数の方に感謝いたします。
研究業績目録
（本研究にかかわる論文発表、学会発表のリストです。学位論文刊行後のものも追加してあります。）
[Papers and Letters]
1) S.Nagamachi, Y.Yamakage, H.Maruno, M.Ueda, S.Sugimoto, M. Asari and J.Ishikawa : "Focused ion beam direct deposition of gold", Appl.Phys.Lett. 62 (1993) 2143.
2) 長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、上田雅弘、杉本征治、浅利正敏、石川順三：”低エネルギー集束イオンビーム直接蒸着装置の開発”、真空 36 (1993)885.
3) S.Nagamachi, Y.Yanakage, M.Ueda, H.Maruno, K.Shinada, Y.Fujiyama, M.Asari and J.Ishikawa : "Focused ion beam direct deposition of superconductive thin film", Appl.Phys.Lett. 65 (1994) 3278.
4) M.Ueda, S.Nagamachi, Y.Yamakage, H.Maruno and J.Ishikawa : "Low-energy focused ion beam system for direct deposition", SPIE 2522 (1995) 397.
5) S.Nagamachi, Y.Yamakage, M.Ueda, H.Maruno and J.Ishikawa : "Focused ion-beam direct deposition of metal thin film", Rev.Sci.Instrum. 67 (1996) 2351.
6) S.Nagamachi, M.Ueda, H.Sakakima, M.Satomi and J.Ishikawa : "Giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers fabricated by focused ion-beam direct deposition", J.Appl.Phys. 80 (1996) 4217.
7) S.Nagamachi, M.Ueda, Y.Yamakage, H.Maruno and J.Ishikawa : "Optical properties of low energy focused ion beam apparatus for direct deposition", Rev.Sci.Instrum. 68 (1997) 2331.
8) S.Nagamachi, M.Ueda and J.Ishikawa : "Focused ion beam direct deposition and its applications", J.Vac.Sci.Technol. B16 (1998) 2515.
[Reviews]
1) 長町信治、上田雅弘、山蔭康弘、丸野浩昌、浅利正敏：”集束イオンビーム直接蒸着法 とその応用”、島津評論 51 (1994) 237.
2) 長町信治、上田雅弘、石川順三：”低エネルギー集束イオンビームによる薄膜形成”、表面科学 16 (1995) 724.
3) 長町信治、上田雅弘、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法”、新素材 1995.12. (1995) 33.
[Proc. of Symposium]
1) 山蔭康弘、長町信治、丸野浩昌、上田雅弘、杉本征治、上田雅之、浅利正敏、石川順三 ：”Ｎｂ合金液体金属イオン源”、第３回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム (1992) 89.
2) 長町信治、山蔭康弘、上田雅弘、丸野浩昌、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着装置の開発”、第４回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム (1993) 101.
3) 長町信治、山蔭康弘、上田雅弘、丸野浩昌、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法による金、銅およびアルミニウムの成膜”、第４回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム (1993) 189.
4) 長町信治、山蔭康弘、上田雅弘、丸野浩昌、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法による超伝導薄膜の成膜”、第４回粒子線の先端的応用技術に関するシンポ ジウム (1993) 119.
5) 石川順三、長町信治：”集束イオンビーム直接蒸着技術の医学への応用の可能性”、第４回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム (1993) 219.
6) 長町信治、上田雅弘、山蔭康弘、丸野浩昌、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着膜
[Meeting's Abstracts]
1) 山蔭康弘、長町信治：”低エネルギー集束イオンビームによる金属直描”、日本学術 振興会第１４１委員会第７５回・第１５１委員会第２５回研究会合同研究会資料 (1993) 90.
2) 長町信治、山蔭康弘、浅利正敏：”低エネルギー集束イオンビーム直接蒸着法”、第１３回粒子線技術開発研究委員会予稿集 (1993).
3) 長町信治：”集束イオンビーム直接蒸着法による金、銅およびニオブの成膜”、第４０回応用物理学関係連合講演会予稿集 (1993) 29p-GA-11.
4) 山蔭康弘、長町信治、丸野浩昌、上田雅弘、杉本征治、浅利正敏、石川順三：”集束イ オンビーム直接蒸着法によるＮｂ薄膜形成”、第４０回応用物理学関係連合講演会予稿集 (1993) 31a-PA-35.
5) 丸野浩昌、長町信治、山蔭康弘、上田雅弘、杉本征治、浅利正敏、石川順三：”集束イ オンビーム直接蒸着装置の開発”、第４０回応用物理学関係連合講演会予稿集 (1993) 30P-H-16.
6) 長町信治、山蔭康弘、浅利正敏：”低エネルギー集束イオンビーム直接蒸着法”、日本 学術振興会第１３２委員会第１２２回研究会資料 (1993) 7.
7) 長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、上田雅弘、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム 直接蒸着法によるアルミニウムの成膜”、第５４回応用物理学会学術講演会予稿集 (1993) 30a-T-2.
8) 長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、上田雅弘、品田恵、藤山陽一、浅利正敏、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法によるジョセフソン接合形成”、第５４回応用物理学会 学術講演会予稿集 (1993) 30p-ZK-1.
9) 長町信治：”集束イオンビーム直接蒸着法とその応用”、平成５年電気関係学会関西支 部連合大会予稿集 (1993) S6-3.
10) 上田雅弘、長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、品田恵、藤山陽一、浅利正敏、石川順三 ：”集束イオンビーム直接蒸着法によるニオブ薄膜形成その２”、第４１回応用物理学 関連連合講演会予稿集 (1994) 28p-ZT-8.
11) S.Nagamachi, Y.Yamakage, M.Ueda, H.Maruno, M.Asari and J.Ishikawa : "Low energy focused ion beam direct deposition", International workshop on ion micro beams - Generation and application (1994) T22.
12)上田雅弘、長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、品田恵、藤山陽一、浅利正敏、石川順三 ：”集束イオンビーム直接蒸着法によるジョセフソン接合形成その２”、第５５回応用物理学会学術講演会予稿集 (1994) 20a-ZS-1.
13) 長町信治、上田雅弘：”集束イオンビームによる微細加工技術”、日本学術振興会第 １３６委員会第３部会第２回研究会資料 (1994).
14) 上田雅弘、長町信治、山蔭康弘、丸野浩昌、品田恵、藤山陽一、石川順三：”集束イ オンビーム直接蒸着法によるジョセフソン接合形成その３”、第４２回応用物理学関連連合講演会予稿集 (1995) 29a-TF-1.
15) 上田雅弘、長町信治、榊間博、里見三男、入江庸介、石川順三：”集束イオンビーム 直接蒸着法による磁性薄膜の作成”、第５６回応用物理学会学術講演会 (1995) 26a-B-8.
16) 榊間博、里見三男、入江庸介、上田雅弘、長町信治、石川順三：”集束イオンビーム 蒸着による［Ｃｏ／Ｃｕ］人工格子膜のＭＲ特性”、第１９回日本磁気学会学術講演会 予稿集 (1995) 95.
17) 上田雅弘、長町信治、波多俊弘、戸谷一幸、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法による弾性表面波素子の作成”、第４３回応用物理学関連連合講演会予稿集 (1996) 28p-ZS-13
18) 上田雅弘、長町信治、波多俊弘、戸谷一幸、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法による弾性表面波素子の作成その２”、第５７回応用物理学会学術講演会 (1996) 7a SKL-14
19) 長町信治、石川順三：”集束イオンビーム直接蒸着法による微細構造形成”、日本学術振興会第１３２委員会第１３６回研究会資料 (1997) 13.