ウェーハ供給　ダミー・モニター・プライム　特殊仕様対応可
材質	Ｓｉ、石英、サファイヤ、SiC
ウェーハサイズ	２"〜１２"
成膜加工
ウェーハサイズ	２"〜１２"
絶縁膜系	熱酸化膜、SiN、PE-TEOS、LP-TEOS、P-SiO2、PSG、NSG、BPSG
メタル膜	Al、Al-Cu、Al-Si-Cu、Ti、TiN、Cr、W、Cu、Pt、Au、Ta、Ir、･･･etc その他各種単層、積層品
CVD電極	Poly-Si
レジスト塗布	g線、i線、Krf 種類によってはお客様指定の材料で塗布することも可
フォトリソ	マスクアライナ、ステッパー
不純物拡散	リン、ボロンデポ、拡散
Low-k膜	SiC、SiOC、BD、coral、Aurora、ポーラスSi、塗布系
ウェーハ再生	膜剥離、ミラーポリッシュ、洗浄
ダイシング・BG加工	Si、ガラス、アルミナ、切断溝入れ
CMP加工	膜付き・パターン付きSiウェーハ、ガラス基板 ※定型・異型対応可
レーザー加工

上記は代表的な工程です。上記以外にご希望の内容がございましたら別途お問合せ願います