Micromachine Patents
米国特許
- 特許番号5485304登録日1996年1月16日 Toshiyuki Kaeriyama Support posts for micro-mechanical devices
- 特許番号5497262登録日1996年3月5日 Toshiyuki Kaeriyama Support posts for micro-mechanical devices
- 特許番号5646768登録日1997年7月8日 Toshiyuki Kaeriyama Support posts for micro-mechanical devices
- 特許番号5872046登録日1999年2月16日 Toshiyuki Kaeriyama, Takeshi Harada Method of cleaning wafer after partial saw
- 特許番号6053617登録日2000年4月25日 Toshiyuki Kaeriyama Manufacture method for micromechanical devices
- 特許番号6099132登録日2000年8月8日 Toshiyuki Kaeriyama Manufacture method for micromechanical devices
- 特許番号6618186登録日2003年9月9日 Toshiyuki Kaeriyama Micro-electromechanical system
- 特許出願番号 2005/0214462A1 公開日2005年9月29日 Toshiyuki Kaeriyama, Richard Knipe, Mike Mignardi, Simon Jacobs Micromechanical device recoat methods
- 特許番号6987601登録日2006年1月17日 Toshiyuki Kaeriyama Damped control of a micromechanical device
- 特許番号7692841登録日2010年4月6日 Toshiyuki Kaeriyama System and Method for Regulating Micromirror Position
- 特許番号8610997登録日2013年12月17日 Toshiyuki Kaeriyama MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICE
ヨーロッパ特許
- 特許番号97306564.2-2203
- 特許番号97302437.5-1235
- 特許番号0818808A2-1998 1.14 Method of cleaning wafer after partial saw
- 特許番号095111689A2 1996 1.31 Support posts for micro-mechanical devices
日本国特許
- 特開2002-188047(P2002-188047A) 公開日2002年7月5日 帰山敏之、松倉郁生 コーティング用組成物およびその製造方法
- 特許第4560958号 登録日2010年8月10日 帰山敏之 マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム
- 特許第5109013号 登録日2012年10月19日 歸山敏之 無機ガラス化硬化材料とパッケージ封止構成への応用
- 特許第5135505号 登録日2012年11月22日 歸山敏之 双安定光位相変調装置
- 特許第5396582号 登録日2013年11月1日 歸山敏之 電磁気駆動型MEMS微小構造体駆動制御方法と制御装置
- 特許第5422789号 登録日2013年12月6日 歸山敏之 MEMS微小構造体駆動制御方法と制御装置
大韓民国特許
- 特願10-2010-980 提出日2010年1月6日 歸山敏之 小型電子機械システムの微小構造体駆動制御方法と制御装置
- 特願10-2010-7367 提出日2010年1月27日 歸山敏之 ガラス化硬化材料とその製造方法及びパッケージ構造と封止パターンの形成方法
- 特願10-2010-8325 提出日2010年1月29日 歸山敏之 双安定光位相変調装置、及びその駆動方法とアレー配列
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改定日: 5/25 2016