３−６．磁性体用液体金属イオン源

　強磁性体のイオン源として、Ｃｏを含む合金イオン源を開発した。Ｃｏを含むイオン源は後に５−６節において述べるＣｏ／Ｃｕ多層膜を作製するためのもの^３３）であるのでＣｕも同時に含む必要がある。前節において述べたＮｂ−Ａｕ−Ｃｕ合金とＮｂ−Ａｕ−Ｃｏ合金を混合したＣｕ−Ｃｏ−Ｎｂ−Ａｕ合金イオン源を作製し、その特性を測定した。原料としてＣｕ_３３−Ｃｏ_３４−Ｎｂ_５−Ａｕ_３２合金を使用したイオン源からの引き出しビームの質量スペクトル例を図３−２６に示す。充填した合金原料自体の組成と比較してＣｏ^２＋ビームの引き出しビーム中に占める割合は少ない。また、この運転温度においてはＮｂ^２＋ビームは観測されない。Ｎｂ合金イオン源において述べたように、Ｃｏの含有量が増えるとイオン源の安定さが損なわれる傾向にあるため、引き出しビーム中でＣｏ^２＋ビームの占める割合がこの程度に小さいとき、イオン源の寿命としては１００〜２００時間程度が達成されている。

図３−２６．Ｃｕ−Ｃｏ−Ｎｂ−Ａｕ合金イオン源の質量スペクトル例