装置名 特徴 １９８４年度
価格（万円）２００２年度価格（万円） 実体顕微鏡（低倍） 総合倍率：４〜１２０倍 １０〜５０ - 金属顕微鏡（高倍） 総合倍率：５０〜１５００倍 ５０〜３００ １５０ ズームデジタル顕微鏡 総合倍率：５〜１５００倍 ５００ 万能投影機 倍率：５〜１０００倍 光電、マイクロメーター式 ５０〜８５０ - 大型マクロ写真機 ３５ｍｍ、４”X５” 共用 １５０ - 走査型電子顕微鏡 分解能：４〜１０nm ：１０〜 ３００,０００倍 ４５０〜３０００ - 透過型電子顕微鏡 分解能：０.１４〜０.３４nm ：５０〜１,６５０,０００倍 １８００〜３０００ - ヘリウムリーク検出器 最小検知リーク量：２〜５ｘ１０^(-11) Torr 1/sec ２３０〜４４０ - 表面温度分布測定装置 測定温度範囲：−４０℃〜２,０００℃、温度分解能：０.０５℃〜０.２℃ １３５０〜３０００ - 軟X線非破壊検査装置 １０〜１５０ｋV/０.５〜３０mA、 解像度：１０μm以上、２００２年度はリアルタイム
で回転も可能２５０〜８００ １７００ ICテスタ、LSIテスタ ２４〜２００ピン ３０００〜２００００ - カーブトレーサ ２〜３ピン素子、リニアbIC,ﾃﾞｼﾞﾀﾙIC ８０〜２５０ - 簡易FPGAプログラマ FPGA/CPLD/PROMなどをプログラムする装置 １０−７０ LCR測定器 １２０Hz〜１０MHz、１ｍV〜１V ７０〜２００ - 超絶縁抵抗計 １０〜１０００V,５ｘ１０^5〜２ｘ１０^16Ω ２０〜４０ - ミリオームメータ １ｋHz、１ｍΩ〜１００Ω ３０〜 - ガウスメータ １G〜３０ｋG, 極性判断付き ３０〜８０ - ｐH メータ ０〜１４ｐH, 分解能：０.０１〜０.００１ｐH, 手動、自動 ２０〜２００ - 真空恒温槽 ４０〜２００℃、 ７６０〜１ｍｍHg ６０〜１５０ - 超低温恒温槽 - ８５〜１８０℃ １００〜１５０ - 恒温恒湿槽 - ７０〜１００℃、２０〜９８％RH、 １５０〜５５０ - プレッシャクッカ- １００〜１６０℃、１〜６気圧、標準、防滴、湿度可変 ３０〜５００ - 振動試験装置 １０〜２５００Hz、１８０〜３００ｋｇG ５００〜６００ - 衝撃試験装機 １０〜２００００G、０.１〜３mm/sec ８５０〜１６００ - PIND試験機 ４０Hz〜２５０Hz、０〜２０G ４５０ -
装置名 特徴 １９８４年度
価格（万円）２００２年度
価格（万円）キャップオープナー 手動式、電動式 １/8”（約３.２mm）〜１”（約２５.４mm） ９〜３０ - フラットパックオープナー フラットパッケージIC ２５〜 - プラスチィックオープナー IC,LSI,VLSIなど、パッケージ形状：DIP,FP,SIPなど ４３０〜 - プラズマリアクター 低温炭化用、０〜５００W,１〜３チャンバー ２３０〜９５０ - 精密低速切断機 ０〜３００ｒｐｍ ８５〜３３０ - 樹脂埋込機 油圧手動式、空圧自動式 ４５〜１００ - 研磨機 シャフトギヤードライブシステム（モーター直結） ３０〜２００ - 超音波洗浄機 ２８ｋHz、５０〜２００W ６〜３０ - 発光分光分析器 最大４８元素同時処理、写真、光電併用 ２５００〜５０００ - 原子吸光分析装置 波長範囲：１９００〜９０００A、測定モード：フレームエミッション、定性、定量 ２００〜７００ - 可視紫外分光分析装置 波長範囲：１９０〜９００nmA、バンド幅：０.０２〜５nm １５０〜６００ - ｲｵﾝﾏｲｸﾛﾌﾟﾛｰﾌﾞﾏｽｱﾅﾗｲｻﾞ(IPA) 大、中型、質量範囲：１〜５００、分解能：１００００、
検出感度：０.２ppb（シリコン中のボロンの検出）５０００〜１６０００ - 二次イオン質量分析装置（SIMS） 質量分析計のオプション、軟揮発性、熱に弱い有機物(ﾎﾟﾘﾏｰなど) ７００〜 - オージェ電子分光装置(AES) 分解能：５〜５０A、表面より１〜２μm程度 ２１００〜９０００ - X線ﾏｲｸﾛアナライザ（XMA） 分解能：６０〜１００A、分光器数：２〜５、５B〜９２U ４０００〜９０００ - X線光電子分光装置（ESCA） 測定元素：３Li〜９２U、感度：３０００００CPS ４０００〜９０００ - 赤外分光光度計 分解能：５０００〜０.０４ｃｍ^(-1) ２００〜６００ - ガスクロマトグラフ 検出器：TCD、FID、FpD、ECD、FTD １００〜３００ - 液体クロマトグラフ 流量：０.１〜９９００μｌ/min、最高吐出圧：500kg/m^2 １００〜８００ - 核磁気共鳴装置 基準磁場：１.４〜９.４T、測定核：１H〜１９F（２３Na,３１P、１７Oなど） ７００〜１６０００ - 電子スピン共鳴装置 最大磁場：０.６５〜１.７T、分解能：１ｘ１０^(-5)以上 １４５０〜２５００ - 質量分析計 質量範囲：１〜３０００、分解能：２５０００、感度：０.０５んｇ、 SN>１０ ６０００〜１０００ - 蛍光X線分析装置 測定元素範囲：8O〜92Uまで、同時測定元素２０ｃｈ、４０ｸﾞﾙｰﾌﾟ ２７５０〜３５００ - X線回折計 最小１０μmの微小領域、ｺﾞﾆｵﾒｰﾀｰ角度：-20℃〜163℃ ６００〜２２００ -
装置名 特徴 １９８４年度
価格（円）２００２年度 価格（万円） 表面粗さ形状測定 指示範囲：０.０１〜５０μm、５μmR ６０〜４００ - 小型引張試験装置 荷重：１ｇ〜１００ｋｇ、スピード：２〜４０mm/min １７０〜２３０ - 小型硬度計 試験荷重：０.０１〜１００ｇｆ、負荷速度：１〜２０μm/s ６０〜２００ - オートドライデシケータ 庫内湿度３０％〜３５％RH ４７K〜５５K - ベーク用オーブン 乾燥用オーブン、室温から２５０℃ぐらいまでカバー ４５ ヒュームフード 排ガス除去装置 １００ ホットプレート 加熱能力：２６０℃/４分３０秒、３７０℃/７分３０秒、精度：+/-２℃ ２５K〜３５K - ドライパッキング用真空装置 ドライパックが必要なパッケージを梱包する際の真空引き装置 １８ 卓上小型半自動結束機 梱包する際のパッキングマシン（ｽﾎﾟｯﾄﾃｨﾋﾟｰﾊﾟｯｸ T型） ２０ 小型マイクロブローバ パッケージリードのマイクロプローブ ５０ 大型マイクロブローバ ダイのマイクロプローブ ４００ マニプレーター マイクロブローバ用マニプレーター、４台必要 ６０ マントルヒーター 自動温度調整付き ３０K〜３５K - ｐHメータ 小型計量、１２０ｇポケットサイズ ５４K - ジャッキ ステンラス製、 ５K〜２５K - 卓上型二槽式超音波洗浄機 出力最大７０W,周波数５０ｋHz,タイマ付き ４０K〜１１０K - テフロンピンセット 耐酸性、非磁性、非吸水性 １K〜１.５K - 保護面 高温のものから顔を守る、UV保護 １.５K〜１８K - ポケットﾏｲｸﾛスコープ 倍率：２０〜６０倍 ４K〜 - ポケット顕微鏡 倍率：５０倍（照明付き） ４K〜５K - ルーペ 倍率：７倍 ４K〜５K - 防塵メガネ 超硬化プラスチック製 ２.５K - 卓上万力 サイズ：開口０〜４５mm - 静電気防止床 静電気防止床 １３０m^2 ６０ 薬品保管庫（低温） パッケージオープナーなどの薬品保管庫、耐震性用、 ５５ 小型耐震台 実体顕微鏡などの下に置き、振動を吸収させる ３０ ﾏｲｸﾛバーナー 連続1時間、１３００℃を維持、パッケージ開封など １０K〜 - サーモラベル 完全不可逆性 ８.５K〜 - サーモクレヨン 完全不可逆性 １０K〜 -
参考文献：「故障解析とその応用」 、頁２０２−日課技連信頼性工学シリーズ １２、塩見弘 他 ISBN4-8171-3112-8
